精密斜齒輪行星減速機(jī)的主體結(jié)構(gòu)有：行星輪，太陽輪以及內(nèi)齒圈。相對于其他減速機(jī)，伺服行星減速機(jī)具有高剛性、高精度（單級可做到1分以內(nèi)）、高傳動效率(單級在97%-98%)、高的扭矩/體積比、終身免維護(hù)等特點。多數(shù)是用于安裝在步進(jìn)電機(jī)和伺服電機(jī)上，用來降低轉(zhuǎn)速，增大扭矩。由于結(jié)構(gòu)的原因,單級的減速最小為3,最大一般不超過10。
精密斜齒輪行星減速機(jī)-行星齒輪傳動裝置的重量一般與齒輪的重量是成正比的，而齒輪的重量又與其材料和熱處理的硬度有很大關(guān)系，因而這類減速機(jī)上廣泛采用硬齒面齒輪。得到硬齒面齒輪的方法主要有：表面淬火，滲碳淬火和滲氮等，需要根據(jù)行星齒輪減速機(jī)的具體情況進(jìn)行考慮選定。
1、表面淬火，常見的方法有高頻淬火（對小尺寸齒輪）和火焰淬火（對大尺寸齒輪）兩種。需要注意的是表面淬火的淬硬層能包括齒根底部時，效果會更好。
2、滲碳淬火，這類加工的齒輪具有相對更大的承載能力，但必須采用精加工如磨齒來消除熱處理引起的變形問題，以確保精度。滲碳淬火在改善輪齒的彎曲疲勞強(qiáng)度方面作用明顯，除了能使核心部位的硬度有所提高外，還能更好地應(yīng)對齒輪表面的殘余壓應(yīng)力，可使輪齒的最大拉應(yīng)力區(qū)的拉應(yīng)力變小。因此磨齒時不能磨到齒根部分，所以一般滾齒時要再用留磨量進(jìn)行滾刀。
3、滲氮，可保證輪齒在變形最小的條件下達(dá)到較高的齒面硬度和更好的耐磨性，而且熱處理后不用再進(jìn)行最后的精加工，就提高了承載能力。這一特點對于不易磨齒的內(nèi)齒輪來說，非常重要。
4、想嚙合齒輪的硬度組合，當(dāng)大、小齒輪均為軟齒面齒輪時，一般小齒輪的齒面硬度應(yīng)大于大齒輪。而當(dāng)兩輪均為硬齒面齒輪且硬度較高時，則應(yīng)是兩輪硬度相同。
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